Fotolitografiya mikrosxemalarni ishlab chiqarishda ishlatiladi. Jarayon yorituvchi material bilan qoplangan yarim o'tkazgich plastinkasini kimyoviy o'yuvchi eritmalar bilan ta'sir qilishdan iborat. Fomaska tayyorlanadi, yoritiladi va yoritilgan hududlar yuvib chiqariladi