Ushbu taqdimot ion implantatsiya usuli bilan hosil qilingan strukturalarda kirishmalar taqsimotini hisoblash usullari, natijalar va muhokama, hamda implantatsiya jarayonining ta'rifini o'z ichiga oladi. Taqsimotga ta'sir etuvchi omillar, jumladan energiya, doza, temperatura, atom radiusi va kristall tuzilishi ko'rib chiqiladi