Mass spektroskopiya 19-asr oxiri va 20-asr boshida rivojlanishni boshlagan. Birinchi mass spektrometr 1919-yilda ingliz olimi Frensis Aston tomonidan yaratilgan. Aston izotoplarni aniqlash va ularning massalarini o'lchash uchun mass spektrometridan foydalangan